NavigatorⅡ 射频匹配器 13.56MHz RF Match 返回列表页

AE Navigator Series 射频匹配网络可实现快速、精确、可靠的数字调谐匹配，NavigatorⅡ 射频匹配器 13.56MHz RF Matching Box 射频匹配网络使用先进的数字技术可缩短调谐和匹配响应时间。

AE Navigator Series 射频匹配网络具有优秀的射频等离子体控制方法，高级脉冲控制，可在脉冲时调谐，通过集成的内部射频传感器深入监测等离子体。内部射频传感器可实时分析过程功率和阻抗，帮助客户快速识别并明显减少工艺偏差。选配的虚拟前面板软件，可通过用户计算机进行监测和控制。

NavigatorⅡ 射频匹配器 13.56MHz RF Matching Box 射频匹配网络技术参数

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

优点

1.快速调谐和缩短匹配响应时间

2.加强过程控制

3.提高设备效率和产品产量

4.提高可靠性，降低拥有成本

5.自定义各种腔室和工艺过程

特点

1.数字架构，采用基于模型的快速调谐算法

2.脉冲射频供电

3.扫频操作

4.互调失真（IMD）抗扰，针对多频率应用

5.实时工艺功率和阻抗测量