Navigator 10013 射频匹配器 13.56MHz 10KW 返回列表页

AE Navigator Series 射频匹配网络可实现快速、精确、可靠的数字调谐匹配，AE Navigator 10013 射频匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射频匹配网络 使用先进的数字技术可缩短调谐和匹配响应时间。

AE Navigator Series 射频匹配网络具有优秀的射频等离子体控制方法，高级脉冲控制，可在脉冲时调谐，通过集成的内部射频传感器深入监测等离子体。内部射频传感器可实时分析过程功率和阻抗，帮助客户快速识别并明显减少工艺偏差。选配的虚拟前面板软件，可通过用户计算机进行监测和控制。

技术参数

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

AE Navigator 10013 射频匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射频匹配网络

优点

1.快速调谐和缩短匹配响应时间

2.加强过程控制

3.提高设备效率和产品产量

4.提高可靠性，降低拥有成本

5.自定义各种腔室和工艺过程

特点

1.数字架构，采用基于模型的快速调谐算法

2.脉冲射频供电

3.扫频操作

4.互调失真（IMD）抗扰，针对多频率应用

5.实时工艺功率和阻抗测量