KLA-Tencor Puma 9100 晶圆检测仪

是一款先进的半导体晶圆测试和计量设备，广泛应用于生产及研发领域。该设备具有高精度和可重复性的特点，能够提供精确的微观级测量能力。它配备了易于使用的装载端口、机器人和光学检查功能，以及多轴平台，用于实现精确的微米级测量。

此外，Puma 9100 还集成了图像传感器和智能系统，以确保光学测量的准确性，并且具备自动化的样品处理能力，可以无限制地进行检查区域的成像。该设备还支持暗场缺陷检测，这使得它在识别电子制造过程中的潜在缺陷方面表现出色。

总体而言，KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圆测试系统，适用于各种半导体制造和研究应用，提供了高度精确的测量能力和灵活的部署方案。