名称：KSLA-Tencor SFS6420

制造商：KLA-Tencor

尺寸：8英寸

粒子检测与计数

用于检测粗糙表面如多晶硅和钨的亚微米粒子

提供比0.10 μm更优敏感性的精细度

表面分析工具

设计用于满足广泛应用的需求

利用最新光学技术，易于在粗糙表面上检测亚微米粒子的能力

高速自动化测试

能实时分析现场条件，适用于在线和离线应用

每小时可运行500个晶圆的自动化测试能力

多传感器技术

提供创新的特性，如多传感器技术

实时信息提供

通过统计分析和趋势分析为用户提供与产品质量相关的实时信息

晶圆检测系统

用于监控裸硅晶圆及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

与KLA-Tencor的其他设备兼容，用于PCB组装板下的WFR检测