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SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机是 SEMI-KLEEN 系列等离子体清洁器的特殊版本，用于超高真空（UHV）室和样品清洁应用。等离子体源主体由钎焊到不锈钢凸缘的玻璃管构成。所有的真空接头都是玻璃-金属钎焊或金属-金属接触。在源体内没有使用聚合物密封。等离子体源的背面是 1/4 英寸的 VCR 连接器。前侧法兰为 CF2.75″（DN 40 CF）不锈钢。
SEMI-KLEEN UHV等离子体清洗机有两种控制气体流量的方法：手动针阀或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驱动两个外部 MFC 并自动混合两种工艺气体。如果使用外部 MFC 来控制气体流速，则配方可以指定每个 MFC 的气体流速。
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