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当前位置:北京亚科晨旭科技有限公司>>表征检测>>X光检测,X射线衍射仪检测>> QC3QC3 高分辨率X射线衍射仪
价格区间 | 200万-300万 | 仪器种类 | 小角散射仪 |
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应用领域 | 化工,生物产业,能源,电子 |
QC3 高分辨率X射线衍射仪是Jordan Valley公司推出的半导体生产质量控制设备的zui新机型,专注于化合物半导体产业中的生产监控需求。Jordan Valley公司质量控制型
(QC)设备已经有三十余年的历史,并在被广泛应用于Si, GaAs, InP, GaN, 及其他常见的半导体衬底或外延层材料的测试和生产控制。QC3实现了高分辨率X射线衍射测试技术的部分或*自动化,并可根据客户产品的具体需求,度身设计的自动化控制程序和质量控制参数。
QC3可依需要配置自动化机械手臂,实现半导体晶圆片的自动化装载,在生产线上执行测试流程的全自动化。QC3也可以提供一次性同时放置多个小尺寸晶圆片。样品盘上可以同时放置20片2英寸晶圆片,或者5片4英寸晶圆片。控制软件可以将自动化测试菜单程序添加给同一批次的不同晶圆片,并依次针对样品盘上所有的晶圆片执行测试菜单,有效减少人工操作及干预,提高测试效率。
与过去相类似的衍射仪相比,QC3衍射仪非常显著地提高了X射线的强度。QC3衍射仪对束线强度的优化设计,使其比市场同类型产品提供了HRXRD测试技术所需的更多优势。
入射束线
QC3衍射仪的入射光学系统采用统一的标准化配置,保证高强度信号的获得,且无需额外的费用购置其他的选配件。
入射光学系统的配置将依所测试材料的结构特征做如下优化:
25”的X射线角发散度,入射强度更高。
X射线探测台
探测台包含了多项特色的X射线衍射用光学元件,并作为标准化配置,以提高QC3 的性能。
>5×107的动态响应范围。
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