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晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
晶圆翘曲度厚度测试仪应用
晶圆来料检测
晶圆研发和质量控制
标准厚度型号
| 型号 | 晶圆直径 | 传感器数 | 厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| MX 203-4-37-Q | 2", 3", 4" | 21, 37 | 300 - 800µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV |
| MX 203-6-33-Q | 3", 4", 5", 6" | 9, 13, 21, 33 | 300 - 800µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV |
| 型号 | 可容纳晶圆尺寸 | 传感器数 | 厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| MX 203-6-41-q | 100x100, 125x125, 156x156 | 21, 33, 41 | 160 - 700µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-25-q | 125x125, 156x156 | 17, 25 | 150 - 600µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-49-q | 125x125, 156x156 | 25, 49 | 100 - 600µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
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