珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司
使用NexION 5000 SP-ICP-MS分析半导体级硫酸中的金属纳米颗粒
检测样品：半导体级硫酸
检测项目：金属纳米颗粒
方案概述：在本实验中，NexlON5000多重四极杆ICP-MS用于分析1%硫酸中的纳米颗粒污染，以证明其适用于半导体行业中使用的工艺化学品的常规实验室分析。
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)作为一种多元素检测技术，具有灵敏度高、样品类型灵活(气体、液体和固体)、测量速度快、线性动态范围宽等优点。在单颗粒模式下运行的ICP-MS(SP-ICP-MS)已被证明是一种用于检测和测量纳米颗粒(NP)的强大技术，能够测定多种纳米颗粒特征，如无机成分、浓度、粒径、粒径分布和聚集。
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