MU300PE KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
| 参考价 | ¥ 12000 |
| 订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 高斯摩(成都)国际贸易有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型号 MU300PE
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/5/26 15:20:59
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| 泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 综合 |
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU300PE
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU300PE
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指无需任何工作液（如油或水）作为介质，依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体，解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代，随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步，现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。
干式真空泵的典型应用
（一）半导体制造
晶圆加工：刻蚀、CVD、PVD工艺
离子注入：束线系统真空维持
光刻机：EUV光源腔体抽真空
（二）平板显示行业
OLED蒸镀：高纯真空环境建立
LCD制造：液晶灌注系统
触摸屏生产：真空贴合工艺
（三）光伏产业
太阳能电池：PECVD工艺
薄膜电池：真空镀膜系统
组件封装：层压机抽真空
（四）科研领域
同步辐射：光束线真空系统
电镜系统：样品室抽真空
空间模拟：环境模拟舱抽气
（五）其他应用
医疗设备：质子治疗加速器
锂电池制造：极片干燥系统
食品包装：无菌包装生产线
| 规格/型号 | MU100PE/HE | MU300PE/HE | MU600PE/HE |
| 最大抽速 [L/min] *2 | 1,660 | 5,000 | 10,000 |
| 极限压力 [Pa] *2 | 3.0 | 0.5 | |
| 电源电压 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V *3 | ||
| 功耗 [kW] *4 | 0.6 | 0.8 | 0.85 |
| 外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *5 | 630×350×360 元 | 630×350×520 元 | |
| 重量 [kg] | 70 | 110 | 130 |
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化工仪器网