日本FLUORO福乐适用于微小玻璃片和晶元的吸嘴吸盘

它由真空泵FV-W和真空镊子C007组成。

●无需设置单独的泵进行吸入和排出，而是在一个系统中兼用，因此可以实现紧凑的机身。

●由于该结构将吸入和排出两个回路连接到一个组合连接器（双管），因此只需一根管子即可吸入和排出。

四、应用领域

▌ 半导体制造

• 晶圆蚀刻（10⁻⁶ mbar超高真空）

• 镀膜设备（分子泵+低温泵组合）

▌ 医疗设备

• MRI超导磁体抽真空

• 真空冷冻干燥机（-80℃工况）

▌ 科研实验

• 粒子加速器（10⁻¹⁰ mbar）

• 太空环境模拟舱

▌ 工业产线

• 食品真空包装（10⁻² mbar）

• 锂电池注液除气泡

• 技术趋势

• 智能化：AI预测性维护（准确率>95%）

• 微型化：MEMS真空泵（芯片级尺寸）

• 绿色技术：无氟润滑剂应用

• 混合系统：涡旋+吸附泵复合抽气

• 结论：真空泵作为现代工业的"真空心脏"，其技术发展直接推动半导体、新能源等产业进步。干式、节能、智能化将成为未来主流方向。