KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特点

抽速高：最大抽速可达 20,000L/min，能快速抽取气体，可满足大负载真空需求，大大缩短抽气时间，提高生产效率，适用于对抽气速度要求高的工艺，如大型半导体镀膜设备、大型真空干燥设备等。

极限压力低：极限压力为 0.5Pa，可获得高真空度，能满足对真空环境要求苛刻的工艺，如高精度半导体光刻、电子束蒸发等工艺对真空度要求，该真空泵能提供稳定的高真空环境。

无油洁净：采用无油运转设计，避免油污染，可确保工艺腔体洁净无残留。适用于对洁净度要求高的行业，如半导体、液晶、LED 及太阳能光伏等，在这些行业中，微小的油滴或油蒸气都可能对产品质量产生严重影响。

节能环保：配备低功耗电机，功率约 0.6kW。运行能效比优于同类产品，降低了能耗与运行成本；同时采用变频驱动（VFD）调节转速，可根据实际需求调整抽气速度，进一步节能，能耗较油封泵可降低 30% - 50%。

结构紧凑：尺寸为 625×275×580mm，重量约 165kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目，可灵活安装在各种生产线上，不占用过多空间。

维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程，可降低维护成本和停机时间。维护人员可快速定位和更换故障模块，减少设备停机维修时间，提高设备利用率。

电源适应性强：电源为三相 AC200 - 220V，50/60Hz，能适应多种电力供应环境，方便在不同地区和场合使用，无需额外配置复杂的电源转换设备。

运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障。且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件，减少对工作场所的噪音污染和振动干扰。

智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据；还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护，方便操作人员实时监控设备运行状态，及时发现和处理问题。