KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特点

无油洁净：采用无油干式技术，通过精密啮合的螺杆式 / 爪式转子结构实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气对工艺腔体的污染，适用于如晶圆加工等对洁净度要求的敏感工艺。

抽速高：最大抽速可达 3000L/min，能够快速有效地抽取气体，可适应中高负载的真空需求，满足如真空镀膜系统、等离子清洗设备等对抽气速度有较高要求的设备。

极限压力低：极限压力为 1.5Pa，可获得较高的真空度，能满足一些对真空环境要求较为苛刻的工艺需求。

耐腐蚀：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能够耐受酸性气体（如 HCl、Cl₂）和颗粒物，可应用于有腐蚀性气体的环境。

节能高效：配备低功耗电机，功率约 0.5kW，运行能效比优于同类产品；同时采用变频驱动（VFD）调节转速，能耗较油封泵可降低 30% - 50%。

结构紧凑：尺寸为 550×280×299mm，重量约 95kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目。

智能控制：具有实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据；还配备自诊断系统，通过振动、温度传感器对异常情况（如过载或异物进入）进行预警，并自动停机保护。

维护便捷：采用模块化结构，简化了检修流程，无需复杂的拆卸和组装过程，可降低维护成本和停机时间。

电源适应性强：电源为三相 AC200 - 220V，50/60Hz，能适应多种电力供应环境，方便在不同地区和场合使用。