KASHIYAMA MU300X 干式真空泵

KASHIYAMA MU300X 干式真空泵

产品简介

KASHIYAMA MU300X 干式真空泵 是日本 KASHIYAMA（樫山工业）推出的 MU-XE 系列中型干式真空泵，适用于对洁净度要求高的行业，如半导体、液晶、LED 及太阳能光伏等。该型号在能效、稳定性、结构紧凑性和维护便捷性方面均表现优异。

技术参数

• 抽速：5000 L/min

• 极限压力：0.5 Pa

• 电源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：约 0.55 kW

• 尺寸：450 × 230 × 520 mm

• 重量：约 100 kg

产品特点

• 无油洁净设计：无油运转，避免油污染，确保工艺腔体洁净无残留。

• 高抽速输出：5000 L/min 高效抽气能力，适应中高负载真空需求。

• 节能环保：低功耗电机，运行能效比优于同类产品。

• 结构紧凑：占地面积小，适合设备集成和改造项目。

• 维护便捷：模块化结构，简化检修流程，降低使用成本。

应用领域

KASHIYAMA MU300X 真空泵广泛应用于以下制造行业：

• 半导体前道与后道工艺（CVD、PVD、刻蚀、封装）

• 液晶显示器（LCD）面板制造

• LED芯片生产与测试

• 太阳能电池组件制造

• 真空镀膜系统、等离子清洗设备等

配套服务

• 原厂技术支持，提供选型指导

• 可定制接口方案，支持整线集成

• 提供安装调试与售后维护服务

• 长期现货供应，支持项目投标