NeoDry 60E 干式真空泵

Kashiyama NeoDry 60E 干式真空泵

产品概述

Kashiyama NeoDry 60E 是一款高性能的干式真空泵，采用多叶片Roots转子结构，具备无油、低噪音、易维护等特点。其设计适用于需要高洁净度和稳定性能的应用场景，如实验室、半导体制造、真空镀膜等。

技术参数

• 最大抽速：1000 L/min（约35.3 CFM）

• 极限真空度：≤1 Pa（7.5 mTorr）

• 进气/排气接口：NW40 / NW25

• 允许最大进气压力：大气压

• 电机功率：1.5 kW

• 电源选项：单相或三相 200–240V（50/60Hz）

• 气镇功能：支持氮气或空气（用于处理水蒸气）

• 最大允许水蒸气处理量：600 g/h

• 噪音水平：≤60 dB(A)

• 重量：约56 kg

• 尺寸：约530 × 315 × 275 mm

产品亮点

• 无油干式设计：内部无接触部件，无需更换密封件，避免油污染，适用于高洁净度要求的环境。

• 空气冷却：无需冷却水，简化安装和维护。

• 高效处理水蒸气：配备气镇功能，适合处理含水或可凝性气体。

• 低噪音、低振动：运行安静，适合实验室和精密设备环境。

• 维护周期长：建议每3年维护一次，降低运营成本。

典型应用领域

• 扫描电子显微镜（SEM）

• 质谱仪（MS）

• 真空镀膜设备

• 光谱仪

• 检漏仪

• 冷冻干燥机

• 涡轮分子泵的前级泵

• 真空干燥与脱气