炉管清洗机是半导体制造过程中核心设备,专门用于清洁石英炉管或石英舟。这些炉管在半导体器件的制造中扮演着重要角色,因此保持其清洁度对于确保产品质量至关重要。
产品特点:
高效清洗:炉管清洗机采用多种清洗技术,如DIW喷淋、超声波和抖动等,能够有效去除炉管内的颗粒物、杂质和其他残留物。
自动化控制:设备通常配备PLC控制系统,实现自动化操作和过程监控,提高生产效率并减少人为错误。
安全性:设有EMO急停装置、强弱电隔离以及电磁阀高于工作液面的设计,确保操作安全。
结构设计:立式或卧式设计,根据不同的生产需求和空间条件进行选择。
环保节能:在保证清洗效果的同时,注重环保和能源利用效率,减少化学品和水资源的消耗。
维护简便:设备设计考虑到易维护性,便于日常保养和故障排查。
定制化服务:可根据客户的具体需求提供定制化的清洗方案和设备配置。
应用领域:
半导体制造
太阳能电池片清洗
LED芯片清洗
PCB板上焊锡残留物、灰尘和其他污染物的清洗
注意事项:
在使用前应仔细阅读操作手册,了解设备的使用方法和安全指南。
定期对设备进行检查和维护,以确保其正常运行和延长使用寿命。
使用合适的清洁剂和工具,避免对炉管造成损害。