FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
- 公司名称 岱美仪器技术服务（上海）有限公司
- 品牌 ThetaMetrisis
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/4/8 11:57:17
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| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 能源,电子,制药,电气,综合 |
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产品简介：
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块，可兼用于对无图形和图形薄膜（例如微图形表面、粗糙表面）进行精确测量 。
将晶圆放置在真空吸盘上（晶圆尺寸直径≤300mm）并配备反射率标准件。 由功能强大的光学模块执行测量，光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重复性方面具有优秀的性能
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:
o 实时反射率光谱测量
o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘
o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像
o 测量参数广泛统计数据
o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域
o 不一样的软件功能，例如：Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺
附件：
FR-AutoFocus：100mm 长线性轴，用于自动对焦，具有两种操作模式：图像对焦（对比度）/ 反射强度
Rotation Module：旋转模块电动平台提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel：电动滤光轮模块带有可容纳 12 个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸：直径0.5英寸，最多6个过滤器（1英寸）
FR-AutoTurret：自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜：镜头切换速度约为 1.0-3.0 秒
Lenses：长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.
Chucks：6 英吋光掩模卡盘6 英吋带参考片区域 ，多晶圆卡盘（100-300 毫米和不规则形状片），包括参考区域和暗区，用于自动基准
规格：
二维厚度图：
3D厚度图：
测量原理：
采购中心
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