真空运动台
- 公司名称 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/12/1 17:43:51
- 访问次数 48
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
---|---|---|---|
价格区间 | 面议 | 应用领域 | 建材,电子,冶金,航天,综合 |
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
真空运动台 产品简介
Y轴行程200mm,高真空直线电机驱动,在低速运行时保持平稳,在高速状态不产生振动。
真空交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。十字叠层结构,使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上,不易挥发。
尽可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓处有通孔,保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件,清洗加工表面,高低温热处理消除加工应力,确保使用的长期稳定性。
使用聚四氟乙烯材质的垫圈;螺钉中心带通孔,结构件消除盲孔,方便通风排气;轴侧面无防尘设计,方便通风排气;线缆外表为特氟龙材质,适用真空环境;提供真空腔外的配套连接法兰及线缆。
真空运动台规格指标
轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
X 轴 | 行程 | mm | 380 | 380 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
直线度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微动步距 | nm | 10 | 10 | |
Y 轴 | 行程 | mm | 200 | 200 |
补偿后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
直线度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微动步距 | nm | 10 | 10 | |
XY | 负载 | kg | 15 | 15 |