RBN150系列 纳米级运动台
- 公司名称 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 RBN150系列
- 产地 北京
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/12/1 17:59:30
- 访问次数 588
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
---|---|---|---|
价格区间 | 8千-1.5万 | 应用领域 | 生物产业,电子,印刷包装,冶金,航天 |
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
纳米级运动台
产品型号:RBN150系列
产品应用:纳米级运动台应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
产品特点:
<< 非接触式直驱结构驱动
<< 抗蠕动交叉滚柱导轨导向
<< 百纳米级定位精度
<< 纳米级微动步距
<< 高动态性能
<< 结构可接受定制
产品用材设计
精密运动台采用非接触式直线直驱电机驱动,非常适合要求高精度的需求,其不会与磁铁发生不良反应,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;该结构可以把平台高度降低,结构紧凑,减小阿贝误差的影响。
非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得重复定位精度±75nm,微动步进5nm.
Z轴采用低摩擦气缸配重,有效的提升了垂直方向上的性能。
精密控制
配合业界上主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能、*的控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。
定制化设计
可定制用于真空环境下的版本。
根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。
产品参数表
型号 | 单位 | RBN150-60-60-35 | RBN150-60-60-60 | RBN150-110-110-35 | RBN150-110-110-60 | ||
行程 | mm | 60x60x35 | 60x60x60 | 110x110x35 | 110x110x60 | ||
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.3 | |||
标准值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.15 | ||||||
直线度 | Plus值 | μm | ±0.75 | ±1 | |||
标准值 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±1.5 | ±2 | |||
标准值 | ±2 | ±2.5 | |||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | |||||
速度 | mm/s | 200 | |||||
加速度 | m/s² | 5,(10定制) | |||||
负载 | Kg | 5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | ±2.5 | ||||
标准值 | ±5 |