气浮运动台的精度指标:
直线台:定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,见下图。
直线度:运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差;
平面度:(又称垂直于直线度)运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差;
Pitch:围绕X方向的角度误差;
Roll:围绕Y轴方向的角度误差;
Yaw:围绕Z方向的角度误差。
转台:定位精度、重复定位精度、轴向跳动、径向跳动及倾角误差,见下图。
轴向跳动:转台的旋转轴同轴向发生的误差;
径向跳动:转台在轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差;
倾角误差:相对于转台旋转轴在角度方向上的误差。
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