气浮运动台介绍（一）

气浮运动台是有气浮导轨构成的精密运动台。在常见的设备中，经常看到一些运动装置，按驱动方式分为步进电机、伺服旋转电机、直线电机、音圈电机及压电陶瓷电机等；按导轨导向分类为机械导轨（摩擦式）和气浮导轨，其中光刻机用的磁悬浮也为非接触式，但成本相当昂贵；按反馈形式分为开环、半闭环和闭环，步进电机为开环，伺服电机为半闭环，直线电机驱动并搭配光栅尺行程闭环反馈。

根据应用，精度等级不同，所以选用不同的运动装置。以下是大致介绍：

步进电机加精密丝杆驱动，机械导轨导向，为开环运动装置，按脉冲的个数移动，100mm行程精度在50μm-100μm，应用在低精度行业应用。

伺服电机加精密丝杆驱动，机械导轨导向，为半闭环运动装置（通过伺服电机后的原编码器反馈，不能监测工件移动的位置），精度在20-30μm。行业内也可以移动工件的编码加光栅尺做闭环反馈，精度能做到5-10μm，丝杆和联轴器有反向间隙，所以精度做不高，同时丝杆的螺距，致使空载的速度在300mm/s以内。增大丝杆螺距提升速度，但又牺牲精准度。

气浮运动台采用直驱电机（直线电机和直驱力矩电机）作为直接驱动方式，在行业得到了认可。电机的动子直接连接负载板,通过机械导轨导向，中间无任何传动装置，速度可高达2m/s，100mm行程精度在1-2μm，同时也可以搭配气浮导轨导向，获取更高的亚微米级别精度。