标准检测器

• ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、红外CCD

可选检测器

• Thermo Scientific Nav-Cam+ 摄像机、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技术（可选）

• 可基于能量色散 X 射线光谱 (EDS) 进行实时定量 元素面分布。包含点分析、线扫描、面分布及元素定量。

样品台减速（可选）

• -4,000 V 至 +50 V

低真空模式

• 高达 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)

样品台

• 5轴马达优中心样品台，110 x 110 mm2，105° 倾斜范围。最大样品重量：未倾斜位置，5 kg。

标准样品支架

• 标准多样品 SEM 支架可单独安装

• 在载物台上，可容纳多达 18 个标准样品托 (⌀ 12 mm)，

• 无需工具即可安装样品

样品仓

• 340 mm 内宽，12 个接口，最多可接三个 EDS 检测器（两个呈 180°对称），并具有与共面 EDS共面的EBSD接口。

原位配件（可选）

• 软件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷台

• 软件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 热台

• 软件控制的 1,100°C 高真空热台

• 软件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 热台

• 集成气体注入系统：用于下列材料的电子束诱导沉积，最多支持2种气体（其他配件可能限制可用的注气系统 (GIS) 数量）：

• 铂

• 钨

• 碳

• 纳米机械手

• 液氮致冷台

• 电子探针/多探针台

软件选项

• Thermo Scientific Maps 软件可进行大面积图像自动采集和拼接，并可与其它设备联用

• Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面

• 图形发生软件

• TopoMaps 软件用于图像着色及分析和 3D 表面重建