ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、红外CCD

Nav-Cam+、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、ICD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

可基于能量色散 X 射线光谱 (EDS) 进行实时定量 元素面分布。包含点分析、线扫描、面分布及元素定量。

-4000 V 至 +50 V

高达 2600 Pa (H2O) 或 4000 Pa (N2)

5轴马达优中心样品台，110 x 110 mm2，105° 倾斜范围。最大样品重量：未倾斜位置，5 kg。

标准多样品 SEM 支架可单独直接安装在载物台上，可容纳多达 18 个标准样品托 (⌀ 12 mm)，无需工具即可安装样品

340 mm 内宽，12 个接口，最多可接三个 EDS 检测器（两个呈 180°对称），并具有与共面 EDS共面的EBSD接口。

软件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷台

软件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 热台

软件控制的 1,100°C 高真空热台

软件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 热台

集成气体注入系统：用于下列材料的电子束诱导沉积，最多支持2种气体（其他配件可能限制可用的注气系统 (GIS) 数量）：

纳米机械手

液氮致冷台

电子探针/多探针台

Thermo Scientific Maps 软件可进行大面积图像自动采集和拼接，并可与其它设备联用

Thermo Scientific AutoScript 4 软件；基于 Python 的应用程序编程界面

图形发生软件

TopoMaps 软件用于图像着色及分析和 3D 表面重建