共聚多面叠加技术三合一于一身干涉仪

共聚多面叠加技术三合一于一身干涉仪谱反射法是薄膜测量的方法之一，因为它准确、无损、迅速且无需制备样品。测量时，白光照射到样品表面，并将在膜层中的不同界面反射，并发生干涉和叠加效应。结果，反射光强度将显示出波长变化，这种变化取决于薄膜结构不同层面的厚度和折射率。软件将测得的真实光谱同模拟光谱进行比较拟合，并不断优化厚度值，直到实现佳匹配。

共聚多面叠加技术三合一于一身干涉仪也可用作高分辨率的薄膜测量系统，它适用于单层箔，膜或基板上的单层薄膜，而且还可以处理更复杂结构(高可至基板上10层薄膜)。可在一秒内测量从10nm到20μm的透明薄膜，厚度分辨率0.1 nm，横向分辨率达5μm。

应用举例

表面形貌观测

太阳能硅片的表面，不论是多晶还是单晶，在微观下表面的起伏都相当剧烈。传统的分析设备，很难讲形貌正确地显示和测量。PLu设备因为具有可以量测大斜率的优势，所以可将表面呈现得相当完整。