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干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所*的。
干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
影响干涉仪测量精度的主要因素：
1. 频率稳定性：在干涉仪中，将波长作为长度基准，频率变化直接影响测量结果。
2. 大气折射率。
3. 死程误差：在零位时，干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是干涉仪的一项重要误差。
4. 余弦误差：在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
5. 脉冲当量误差：干涉仪显示的最小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
6. 细分误差：在干涉条纹一个周期内，由插细分不均匀引起的误差。
7. 阿贝误差：为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
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