共聚焦白光干涉仪

使用Sensofar专有技术开发的共聚焦白光干涉仪，其共聚焦部分的主要优点是有着*发光效率的照明硬件和高对比度算法。这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。共聚焦白光干涉仪是以干涉轮廓仪部分的重要关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为neox提供了无限宽广的应用领域。
该neox可用于标准的明场彩色显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。设备没有移动部件使其拥有坚固而紧凑的设计，同时也使得该探头适合很多OEM应用。极其简单的、符合人体工程学的软件界面使用户获得非常快的测量速度，只需方便地切换适当的物镜，调焦，并选择适当的采集模式即可。

■ 微显示共聚焦扫描

目前的共聚焦显微镜都使用有着可移动机械装置的镜面扫描头，

这会限制其使用寿命，并且在高倍率时降低像素抖动优化效果。

对于共焦扫描，neox使用基于微型显示器的Sensofar技术。

该微型显示器基于铁电液晶硅(FLCoS)，一种没有运动部件的快速

切换装置，使共焦图像的扫描更快速、稳定并拥有无限的寿命。   

■ 彩色CCD摄像头
Neox使用一个高速高分辨率的黑白CCD摄像头为系统计量探头。

另一个彩色摄像头可用于明场表面观察。这样使得它很容易找

出所分析样品的特点。此外，地貌测量功能可得到全聚焦彩色

图像。该系统在垂直扫描过程中记录图像合焦位置像素，并和

其Z轴位置匹配从而得到全聚焦彩色图像，并以此来创建出色的三维模型。

■ 物镜
Neox使用*的CFI60 Nikon物镜，在各NA时都有大的工作距离。

可选用的物镜超过50种，每一款都可对应某种特别应用：可用于共聚焦

成像和建模的较高NA，倍率范围2.5X至200X，超长工作距离，特长工作

距离及浸水物镜；带调焦环的物镜可在厚2mm范围的透明介质对焦；

2.5X至100X带参考镜校正及顶端倾斜的物镜。

■ 双垂直扫描器
双垂直扫描器包括一个电动平台和压电扫描器，以获得高的扫描范围和

高的测量精度及重复精度。高定位精度的线性平台行程40mm，小步进

可达10nm，用于共聚焦扫描非常理想。集成的压电扫描器高扫描范围200μm，

压电电阻传感器高定位分辨率0.2nm，全行程精度1nm。现有的其它扫描平台使

用光学编码器，精度仅30nm且不确定，限制了系统的确度和重复性。结合线

性平台和压电扫描器的*设计，使Neox在0.1纳米至几毫米测量范围内拥有业

高的精度，线性和重复性。