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白光干涉仪是一种精度很高的非接触式测量设备，其广泛应用于各类加工样品和精密器件的表面特征检测，涉及的学科已经超过30个。这种设备利用两道相同特性的白光在零光程差时条纹对比明显之特性，来判定零光程差的发生位置，借此取得待测物体的三维表面形貌变化。然而，白光干涉仪的测量结果可能会受到以下因素的影响：
1. 光源的稳定性：光源的稳定性对白光干涉仪的测量结果有着重要影响。如果光源不稳定，那么干涉信号就会受到影响，从而影响到测量结果的准确性。
2. 环境温度：环境温度的变化会影响到光学系统的参数，从而影响到测量结果。因此，在使用白光干涉仪进行测量时，需要尽可能地保证环境温度的稳定。
3. 光学元件的质量：光学元件的质量直接影响到干涉仪的性能。如果光学元件的质量不佳，那么就会降低测量结果的准确性。
4. 被测物体的表面质量：被测物体的表面质量也会影响到测量结果。如果被测物体的表面质量不佳，那么就会降低测量结果的准确性。
5. 被测物体的反射率：被测物体的反射率对测量结果也有影响。如果被测物体的反射率较低，那么照射到物体的大部分都会被吸收，反射光强度会减少，干涉信号微小或不会出现干涉现象。
6. 光源的波长：由于传统干涉法存在的局限性，当表面微观高度不连续性超过1/4窄带光源波长时，由于条纹的周期性使得不易精确分辨，从而无法进行微观高度超过十几微米的测量。
白光干涉仪的测量结果会受到多种因素的影响，因此在实际操作中需要对这些因素进行有效的控制，以确保测量结果的准确性。
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