S8000G S8000G超分辨双束扫描电镜
- 公司名称 北京桔灯地球物理勘探股份有限公司
- 品牌
- 型号 S8000G
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2018/1/24 14:15:39
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特点
- 低电压高分辨观测能力——新一代镜筒内电子加速、减速技术，
- 磁性样品高分辨成像及分析——静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄
- 4个新一代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面
- 大型样品室，超过20个扩展接口（为原位观测、分析创造了良好的工作环境）
- 兼容多种分析软件，并*实现与TOF-SIMS、Raman联用
- 简化操作——新一代操作软件，FIB镜筒实现全自动的离子镜筒对准功能
集成多项创新性设计，拓展新应用领域的利器
S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的*成员，集成了BrightBeam™ SEM镜筒、Orage™ GaFIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计，在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内*水平，此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。
创新的电子光学镜筒，使电镜拥有更加出色的超高分辨率
S8000G配置了的BrightBeam™镜筒，实现了无磁场超高分辨成像，可以zui大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。
另外，EquiPower™透镜技术可有效减少能量损耗并保证电子镜筒的稳定性。
配备的多种探测器，更好的表面灵敏度和对比度
S8000G系统可配置的多种探测器，包括透镜内 Axial detector 以及 Multidetector，可选择不同角度和不同能量来收集信号，信息种类更多，同时获得更好的表面灵敏度和对比度。
新一代 Orage™ Ga FIB镜筒，适用于各类具有挑战性的纳米加工任务
S8000G离子能量zui低可达500eV，拥有更优秀的低压样品制备能力，可以快速制备无损超薄TEM样品
创新的Orage™ Ga FIB镜筒配有*的离子光学系统和设计的OptiGIS™气体注入系统，使得TESCAN S8000G成为了世界*的样品制备和纳米图形成型的仪器。S8000G束流可达100nA，具有超快速的加工能力，新颖的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。
技术参数
电子光学系统
电子枪 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
电子光学镜筒 | Bright Beam™ 电子光学镜筒 |
分辨率 |
|
高真空模式 | 0.9nm@15kV |
1.4nm@1kV（电子束减速模式） | |
1.6nm@200V（电子束减速模式） | |
低真空模式 | STEM（透射模式）：0.9nm@30kV |
BSE（背散射）:2.0nm@30kV | |
LVSTD（低真空二次电子探测器）：1.5nm@30kV | |
放大倍数 | 1~2,000,000倍 |
zui大视野 | 7mm@WD=6mm（分析距离） |
加速电压 | 50V~30kV |
探针电流 | ~400nA |
离子光学系统
离子镜筒 | Orage™高分辨 Ga +FIB镜筒 |
分辨率 | < 2.5 nm @ 30 kV (工作距离为SEM-FIB 交叉点) |
放大倍率 | zui小150倍 @交叉点，加速电压 10 kV (对应视野为1mm)，zui大1,000,000 x |
加速电压 | 0.5 kV ~ 30 kV |
探针电流 | < 1 pA ~ 100 nA |
SEM-FIB交叉点 | SEM (WD = 6 mm) – FIB (WD = 12 mm) |
SEM-FIB 夹角 | 55° |
气体注入系统 | 5针多气体注入系统 (选配) 单针多气体注入系统 (选配) |
探测器、样品室和样品台
探测器（标配） | Multidetector (In-Beam) Axial detector (In-Beam) E-T detector (In-Chamber) Retractable BSE (In-Chamber) |
样品室 | 内部尺寸: 340 mm (宽) × 315 mm (深) × 320 mm (高 )； 接口数量: 20个；内置主动减震 |
样品台 | 电脑控制的全自动样品台 X/Y = 130 mm, Z = 90 mm R = 360°, T = -60°~ +90° |
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