MAIA3 Model 2016超高分辨率场发射扫描电镜

主要特点：

Triglav^TM—超高分辨率电子光学镜筒

TriLens^TM三物镜系统

EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性

的TriSETM技术具有三个SE探测器采集二次电子信号

的TriBE^TM技术具有三个BSE探测器选择不同角度的信号进行采集。

扩展的低真空模式样品室气压能达到500Pa，可用于不导电样品的成像

电子束减速技术（BDT）在低至50eV下仍具有高分辨率成像能力

超高分辨率0.7nm@15keV  1.0nm@1keV

高束流极短的分析工作距离

新的肖特基场发射电子枪能使电子束流高达400nA，并能实现电子束能量的快速改变。所有的探测器的*分析工作距离均为5mm，短的工作距离同时也保证了分析时的高分辨率。

电子束实时追踪技术^TM

对工作距离，放大倍数等所有光学参数进行实时地精确计算，对束班和束流大小进行连续的控制及实时优化。

技术特色：

Triglay^TM电子光学镜筒

TriLens^TM透镜系统，TriSE^TM+TriBE^TM探测器系统和EquiPower^TM管理系统。

TriLens^TM透镜系统：（a）超大视场观察的中间镜（b）高分辨无漏磁分析物镜（c）超高分辨率物镜（60度浸没式物镜）

TriLens^TM成像模式：超高分辨率模式、分析模式、景深模式、大视野模式

TriLens^TM透镜系统中的电子束无交叉技术保证了超低加速电压下的分辨率，0.7nm（加速电压15kV），1nm（着陆电压1 kV），1.2nm（着陆电压200V）。

TriSE^TM+TriBE^TM，共可获得6中图像，包含不同的信息，可根据实际应用需要灵活选择。

EquiPower^TM管理系统：特殊的散热系统能够保证电子镜筒具有*的稳定性，对做一些耗时长的应用（如SEM-FIB的三维重构）非常理想。