MIRA通用型场发射扫描电镜

多种样品仓

MIRA3场发射扫描电镜可配置LM、XM或GM三种样品室。所有的MIRA样品室（LM、XM或GM）提供优秀的5轴马达驱动全计算机化优中心样品台，完善的几何设计更适合安装能谱仪（EDS），波谱仪（WDX），电子背散射衍射（EBSD）。XM和GM样品室适用于大样品的分析。

电子束减速技术（BDT）

低能电子束能够显示样品非常精细的表面细节，而这些表面细节在高能电子束下往往是观察不到的。但是，扫描电子显微镜*的电子光学性能需要在高加速电压下才能实现。BDT技术结合二者的优势，保持在镜筒内的高加速电压，同时在与样品相互作用之前减速到低能量。

的电子束减速技术（BDT），包括减速模式（BDM）和创新的In-Beam探测器，它在标准模式下检测高角度BSE信号，在BDM下检测SE信号。

电子束减速技术在低加速电压下显著提高了分辨率并优化了检测信号，zui低可以实现50eV的着陆能量。

等离子清洗装置

可选等离子清洗装置可有效的防止挥发性碳氢化合物分子与扫描过程中的电子束在观察的试样表面和样品室形成黑色的污染层，可以帮助获得*的高质量图像。

*的硬件设计

高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率、高电流、低噪音图像

*的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计

可选的In-Beam探头可获得特高分辨率图像

使用3维电子束技术，实时得到立体图像，三维导航

以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"

透镜与线圈的优质材料使成像率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束。

用户界面友好的软件与软件工具

多语言、多用户界面（包括了EasySEMTM模式）使常规分析过程更快

内置的系统检查与系统诊断

网络操作与远程进入/诊断

模块化软件体系结构