手机版
化工仪器网手机版
化工仪器网小程序
官方微信
公众号：chem17
扫码关注视频号
高分辨率台式扫描电镜的检定和校准是确保其性能稳定、测量准确的重要步骤。以下是一些基本的检定和校准方法：
1.机械部分检定与校准
-样品台运动精度：使用千分尺等精密量具，对样品台在X、Y、Z方向的运动范围和精度进行测量。检查样品台移动是否平稳、有无卡顿或回程误差等，确保样品台能够准确地将样品移动到电子束照射的位置。
-镜头对准与聚焦：通过观察标准样品(如具有清晰特征的微栅格样品)在不同放大倍数下的成像情况，调整镜头的对准和聚焦。确保电子束能够准确地聚焦在样品表面上，获得清晰的图像。
2.电子光学系统检定与校准
-电子枪发射电流稳定性：在规定的工作条件下，长时间监测电子枪的发射电流，检查其稳定性。发射电流的波动应控制在较小范围内，以保证电子束的强度稳定，从而获得一致的图像亮度和对比度。
-电磁透镜电流稳定性：对电磁透镜的电流进行监测和校准，确保其在工作过程中保持稳定。透镜电流的变化会影响电子束的聚焦和成像质量，因此需要定期检查和调整。
-电子束对中与合轴：使用专门的对中装置或软件工具，对电子束进行对中和合轴调整。使电子束通过各个电磁透镜的中心，确保电子束在传输过程中不会发生偏移或畸变，从而提高成像的清晰度和准确性。
3.成像系统检定与校准
-图像分辨率测试：使用分辨率测试样品，如具有不同间距线条或颗粒的标准样品，观察扫描电镜在不同放大倍数下能够分辨的细节。通过比较实际观察到的分辨率与仪器标称分辨率，判断成像系统的分辨率是否达标，并根据需要进行校准。
-图像畸变校正：检查图像是否存在畸变，如枕形畸变、桶形畸变等。可以通过拍摄具有规则几何形状的标准样品，如网格样品，然后使用图像处理软件对畸变进行定量分析，并根据分析结果对成像系统进行校正。
-亮度和对比度均匀性：在不同放大倍数和不同位置下，观察图像的亮度和对比度是否均匀。如果不均匀，可能是由于电子束的强度分布不均匀、探测器的灵敏度差异或其他因素导致的。需要对相关部件进行调整或校准，以确保图像的亮度和对比度在整个视场内保持一致。
4.高分辨率台式扫描电镜的真空系统检定与校准
-真空度测量与校准：使用高精度的真空计，对扫描电镜的真空度进行测量。检查真空系统是否能够达到规定的真空度要求，并且在不同的工作状态下保持稳定。如果真空度不符合要求，需要检查真空泵的性能、真空阀门的密封性以及真空系统的泄漏情况，并进行相应的维修和校准。
-真空系统的检漏：采用氦质谱检漏仪等专业设备，对真空系统进行检漏。查找可能存在的泄漏点，如管道连接处、阀门密封处等，并及时进行修复，以确保真空系统的完整性和密封性。
5.电气系统检定与校准
-电源稳定性：使用电压表、电流表等仪器，对扫描电镜的电源进行监测，检查电源的输出电压和电流是否稳定，纹波系数是否符合要求。不稳定的电源可能会对电子枪、电磁透镜等部件的工作产生影响，导致图像质量下降或仪器故障。
-电气接地：检查扫描电镜的电气接地是否良好。不良的接地可能会导致电气干扰，影响仪器的正常运行和测量结果的准确性。确保接地电阻符合安全标准和仪器的要求。
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
采购中心
