通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:
1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件?
2、 探针台机械精度要求多高?
3、 点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,还是ic内部的metal?
4、 最多需要几根探针同时去点测?
5、 是否会用到探针卡?
6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
7、 显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
8、 探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求?
9、 接驳的测试仪器接口有哪些?
10、测试环境时是否会需要加热或者降温?
11、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
12、是否需要防震桌?
13、若添置防震桌,是否有压缩空气?
免责声明
- 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。