DN系列探针台产品优势：
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。
卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以用于探针卡的扎针。
可升级性强，可升级 220G 高频，也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
DN系列探针台详细参数：
技术参数 产品型号 | DN-4 | DN-6 | DN-8 | DN-12 | |
探针台本体 | 整机尺寸（mm） | 600L*600W*620H | 650L*650W*620H | 700L*700W*620H | 750L*750W*620H |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自适应减震系统 | 具备自适应减震系统 ， 一定程度上可防止外界震动的干扰。 | ||||
卡盘大小 | 4" ,360度转动, 可微调 | 6"，360 度转动 ，可微调 | 8",360 度转动，可微调 | 12",360 度转动，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 4"*4" ，精度 10um | 6"*6" ，精度 10um | 8"*8" ，精度 10um | 12"*12 ，精度 10um | |
卡盘升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微调升降 5mm ，精度 1 微米(使用探针卡的时候使用) | ||||
卡盘吸附方式 | 真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 （适用于薄片） | ||||
背电极测试功能 | 具备 ， 样品台电学独立悬空 ， 带 4mm 香蕉头插口 | ||||
针座平台 | 材质 | U 型平台 ，镀镍 ，与探针座之间具备更强吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4~6个探针座 | 最多可放置8~10个探针座 | |||
显示系统 | 显微镜成像系统 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统 | |||
倍率范围 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | ||||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构 ， XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | ||||
CCD 成像系统 | 200 万/500万像素 ，帧率 60fps，带拍照/录像/测量功能 | ||||
探针座 | 种类 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
机械精度 | 0.35um/0.7um/2um | ||||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等 | ||||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 | |||
电力需求 | 220V/50HZ | ||||
结构功能：
我们是一家致力于提供半导体和自动化设备综合解决方案的自主创新型技术企业。我们集研发、生产、销售和服务于一体，不仅拥有*的生产设备、加工工艺及品质检测体系，也拥有涉及材料、物理、化学、微电子、机械等专业的技术团队。现在主营的产品有：4寸、6寸、8寸、12寸手动探针台、高压大功率探针台、真空高低温探针台，半自动探针台，全自动探针台等，可以完成I-V/C-V测试，脉冲I-V测试，RF/mmW测试，高压、大电流测试，MEMS、光电器件等测试。专业的设计人员也可以按客户的要求量身定制，如搭配光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统、太阳能发生器、多普勒测试仪、积分球等，在常规探针台功能上进行延伸拓展来满足不同客户的测试需求。
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