产品优势：
卡盘可 360 度快速移动，便于快速定位样品位置，提高测试效率
大手柄微分头驱动，省时，省力，省心
三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离
综合型探针台主要参数：
技术参数 产品型号 | DH-6 | DH-8 | DH-12 | |
探针台本体 | 整机尺寸（mm） | 700mmL*700mmW*720mmH | 750mmL*750mmW*720mmH | 880mmL*880mmW*720mmH |
重量 | 75kg | 95kg | 150kg | |
卡盘大小 | 6" ,360 度转动, 可微调 | 8" ，360 度转动 ， 可微调 | 12",360 度转动，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 6"*6" ， 精度 10um | 8"*8" ， 精度 10um | 12"*12" ， 精度 10um | |
卡盘气浮移动范围 | 360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率 | |||
卡盘升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微调升降 5mm ，精度 1 微米(使用探针卡的时候使用) | |||
卡盘吸附方式 | 真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 （适用于薄片） | |||
背电极测试功能 | 具备 ， 样品台电学独立悬空 ， 带 4mm 香蕉头插口 | |||
针座平台 | 材质 | U 型平台 ，镀镍 ，与探针座之间具备更强吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 | 最多可放置12个探针座 | |
三段式升降平台 | 探针平台可以快速升降 ， 拥有 3mm 和 300um 两档 ， 探针平台可以上下微调 ， 行程 25mm ， 升降精度 1µm。(使用探针卡的时候使用) | |||
显示系统 | 显微镜成像系统 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统 | ||
倍率范围 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构 ， XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素 ， 帧率 60fps，带拍照、 录像、 测量功能 | |||
探针座 | 种类 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
机械精度 | 0.35um/0.7um/2um | |||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 | ||
电力需求 | 220V/50HZ | |||
jijiji结构功能：
综合型探针台部分图片：
优测国芯电子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半导体和自动化设备综合解决方案的自主创新型技术企业。我们集研发、生产、销售和服务于一体，不仅拥有*的生产设备、加工工艺及品质检测体系，也拥有涉及材料、物理、化学、微电子、机械等专业的技术团队。现在主营的产品有：4寸、6寸、8寸、12寸手动探针台、高压大功率探针台、真空高低温探针台，半自动探针台，全自动探针台等，可以完成I-V/C-V测试，脉冲I-V测试，RF/mmW测试，高压、大电流测试，MEMS、光电器件等测试。专业的设计人员也可以按客户的要求量身定制，如搭配光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统、太阳能发生器、多普勒测试仪、积分球等，在常规探针台功能上进行延伸拓展来满足不同客户的测试需求。
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