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产品简介
详细介绍
产品简介：全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维 纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶，ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
| 产品型号 | 全自动椭偏检测机台 | ||
| 主要特点 | 1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术
2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告
3、支持多椭偏方案，多组合集成
4、支持测头模块以及样件机台定制化 | ||
| 技术参数 | 自动化程度 | 可变/固定角 | |
| 应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 | |
| 单次测量时间 | 0.5-5s | ||
| 分析光谱 | 380-1000nm（支持扩展至 193-2500nm） | ||
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| Mapping 行程 | 支持 100x100mm 行程扩展 |
| 支持样件尺寸 | 支持 200mm 样件 |