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产品简介
详细介绍
产品简介： SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视 化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。
高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。广泛应用于镀膜工艺控制、tooling 校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
| 产品型号 | SE-VM 光谱椭偏仪 |
| 主要特点 | 1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围
2、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置， 实现Psi/Delta光谱数据高速采集 |
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| 3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制 |
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| 4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料 |
| 技术参数 | 1、自动化程度：手动变角
2、应用定位：通用型 |
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| 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光谱 | |
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| 4、分析光谱 380-1000nm(可扩至210-1650nm)
5、单次测量时间： 0.5-5s
6、重复性測量精度： 0.01nm | |
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| 7、光斑大小： 大光斑 2-3mm,微光斑 200 μm | |
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| 8、入射角调节方式：手动变角
9、入射角范围： 55-75°(5°步进),90°
10、找焦方式：手动找焦 | |
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| 11、Mapping 行程：不支持 | |
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| 12、支持样件尺寸： 至 180mm | |
| 可选配件 | 1 | 温控台 |
| 2 | Mapping 扩展模块 | |
| 3 | 真空泵 | |
| 4 | 透射吸附组件 | |