纳米压痕仪

基于Warren C. Oliver和George M. Pharr共同研究成果的Oliver- Pharr模型奠定了纳米压痕检测的理论基础，至今仍然是纳米压痕通用的工作模型。Warren C. Oliver作为奠基者，研发了一台纳米压痕仪，近年陆续推出了G200X、NanoFlip、iNano、iMicro和Gemini等多种力学平台。

ª 定量测试硬度、杨氏模量（ISO14577）

ª 连续刚度测试技术

ª 接触刚度成像

ª 电磁力加载，位移、载荷独立控制。

ª 多种载荷模块：50mN、500mN、1000mN、10N

ª 超高框架刚度1×10⁷N/m

ª NanoBlitz 3D /NanoBlitz 4D Mapping

ª 多种功能选件：高温测试、划痕及磨损测试、ProbeDMA粘弹性测试、AccuFilm薄膜测试、Gemini多维度磨损测试、I-V测试

电磁力驱动载荷激发器

采用具有优线性特性的电磁力驱动，高灵敏度的三片式电容传感器，全系列纳米力学产品在整个Z向量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制，确保X和Y向没有任何偏移。

连续刚度测试技术

动态力学测试原理：准静态加载过程中，在压头上施加一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载 荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。

ª 动态激发频率：0.1Hz～1000Hz

ª 单次动态力学测试可以代替>100 次静态力学测试结果

ª 在微小的力和位移测试下提供超精准的动态力学测试

ª 检测高分子材料的复合弹性模量

ª 检测软材料蠕变性能

NanoBlitz 3D原位力学性能Mapping

ª 快速测量表面硬度和杨氏模量Mapping

ª 同时给出不同成分的力学结果统计数据

ª 不受样品粗糙度和其他因素影响

ª 快速压痕单点＜1s，分辨率100000个像素点

NanoBlitz 4D原位力学性能Mapping

ª 基于连续刚度测试技术

ª 测量硬度和弹性模量在XY轴的分布以及Z轴上随压入深度不同产生的变化

ª 动态压痕单点测试时间＜3s

高速数据采集控制器

InQuest 是业内响应时间快、数据采集率高的控制系 统，实现材料瞬间变化的捕捉:

ª 数据高采集率：100kHz

ª 控制器时间常数：20us

横向加载附件

NanoFlip 可提供 Gemini 双子星选件，真正实现原位横向力和横向位移的直接测量，在纳米尺度上精准的实现多维度的磨损测试，实现多维度的动态力学工作模式：

ª 测量材料的摩擦系数或泊松比

ª 精确的载荷、位移、动态响应在横向和纵向的控制

ª 多维度的硬度、磨损、黏附性的精准测量

ª 亚纳米级移动精度的样品台，实现精确定位

ª 实现横向的纳米和纳牛级的准静态和动态测试

I-V测试附件

ª 电压范围：1μv to 200V

ª 电流范围：10aA to 20mA

ª 源表电压范围：5mV to 1000V