PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀（V60系列）

V60高压闸阀系列配备了VATLOCK技术，该技术是专门开发的，可在闸门密封处提供可靠的密封而不会产生任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障，这要归功于关闭端位置的机械锁定。

凭借其坚固的设计，V60系列满足了可靠运行的高压闸阀的所有要求。V60的设计可在大量工艺循环中可靠运行，为通用高压闸阀树立了标准。

该系列提供各种驱动和法兰连接设计选项，因此可以轻松集成到任何高压系统中。各种特殊选项，如窗口和端口，可确保与应用程序的优良匹配。

V60高压闸阀可采用气动驱动。阀门可由控制器控制，使阀门可在0.3秒或设定值内关闭。电磁阀的标准电压为24V DC，但可根据要求提供其他电压。阀门位置由一个双位指示器指示——两个开关分别用于“打开"和“关闭"位置——带转换触点。

法兰连接器的标准选项是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可以集成客户定制的带和不带水冷的法兰。

特征

l在干式泵发生故障时，保护工艺环境免受向下流动粉末的影响

l快速气动打开和关闭小于0.3秒

l带LCD显示器的集成或独立控制器

l机械锁处于关闭位置

优点

lDN63-630，带FKM O型圈闸门密封

l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法兰

应用

l半导体加工

l在要求苛刻的工艺中使用真空泵或腔室隔离

l蚀刻、CVD（MO、PE、HDP、LP）注入、溅射

l高颗粒物水平的纳米技术工艺

l薄膜光伏板

PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀（V60系列）

技术参数