PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀（V75系列）

带有L-Motion的V75大型传输插入阀是为具有高循环速率的Solar和FPD生产系统的特殊要求而开发的。基于V75系列的概念，它结合了极快的打开和关闭运动（在150毫米的打开高度下≤2秒）和对工艺相关沉积物的高阻力，这些沉积物会限制标准阀门的性能。V75配备了更大的压力元件，可以承受闸门在开启方向上的全压差。因此，它特别适用于太阳能、OLED、PVD和负载锁应用。

V75可用于OLED的“超清洁"配置，并可用于PVD和负载锁定应用的高速选项。

V78使用的L-Motion技术基于模块化平台概念。它提供了一种无冲击的打开和关闭动作。平稳运行的双作用L-Motion机构可确保整个密封表面上的密封压力均匀，最大限度地减少密封磨损和潜在的颗粒释放。这也在一定程度上降低了阀门寿命期间FFKM密封件的总成本。

V75系列可作为带外壳的标准传输阀或作为插入式版本直接安装在工艺室中。

与所有PRECESS传输阀解决方案一样，V75大型传输插入阀是根据客户的具体规格量身定制的。这些定制可能包括额外的过程控制单元、特殊的表面处理，如硬质阳极氧化铝或镀镍铝、其他密封材料、检测阀体压力的真空计、波纹管保护的轴馈通、阀门和闸门的射频和直流接地选项、执行器的横向安装位置等。

特征：

l半标准应用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l通过使用获得认证的L形运动连杆和执行器中没有弹簧的双换档，显著减少了振动，实现了更快的速度

l更平稳的驱动

l闭合位置的机械锁

优点：

l焊接波纹管执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有固定器，以防止拆卸时螺栓脱落

l气动执行器双作用

应用

l太阳能、FPD加工

l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积

lLCD/平板加工

l所有其他需要压力控制器真空系统的应用

PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀（V75系列）

技术参数