PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀（V70系列）

为了最小化颗粒生成和激活，隔板上安装了插入式O形圈密封，硫化密封件是一种选择。这是一种高度可靠且比标准O形圈密封更耐用的密封解决方案，尽管标准O形圈密封也可作为选项提供。轴通过高耐用金属焊接波纹管进行密封。

在断电情况下，V70可以在关闭位置机械锁定。 已经在各种半导体、太阳能和工业生产过程中的数百个苛刻应用中安装使用，V70系列已证明了其很好的可靠性。凭借其坚固的设计以及简化和易于维护的特点，V70系列在各个方面都令人信服。

V70换向阀始终根据客户规格定制。尽管如此，四种基本设计类型是预定义的：两种具有不同后侧开口的阀门类型和两种具有内部或外部腔室阀座的插入类型。

阀体材料选项包括铝、硬阳极氧化、镍镀层或不锈钢。闸门和盖子密封件为FKM或FFKM。其他密封材料可根据要求提供。

特征：

l半标准应用（半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296）

l低振动。获得认证的L形运动连杆和执行器中无弹簧的双换档可实现更快的速度

l更平稳的气动执行器

l机械锁处于关闭位置

优点：

l焊接波纹管执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有固定器，以防止拆卸时螺栓脱落

应用：

l半导体加工

l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积

l太阳能电池板制造

lLCD/平板工艺

l所有其他集群真空系统

PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀（V70系列）

技术参数