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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>KYOSAN JFK Series>> KYOSAN JFK125TP-TC2KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
| 供货周期 | 现货 | 货号 | 2L39-000121-23 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型号 | JFK125TP-TC2 |
| P/N | 2L39-000121-23 | 频率 | 3.2MHz |
| 输出功率 | 12.5KW | 设备状态 | Refurbished |
KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2 RF Generator是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN JFK系列射频电源可以实现对射频输出的精准控制，可以在一定程度上提高产线效率和产品良率。
KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2 RF Generator 参数规格
设备品牌：KYOSAN
设备型号：JFK125TP-TC2
AC 电源输入：200~208V，3 phase~+G，60A，50/60Hz
RF 射频输出：3.2MHz，12.5KW（cw），20KW（PEAK）
通讯接口：Analog I/F，Debug，Device Net
设备散热：水冷散热
水冷进水需求：水冷流量 8L/min
设备重量：45kg
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