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MKS 射频电源 EDGE30R40A 400KHz 2500W
MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz
| 供货周期 | 现货 | 货号 | EDGE 210R40A-G02 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型号 | EDGE?400KHz |
| M/N | EDGE?210R40A-G02 | P/N | 660-210103-200 |
| 频率 | 400KHz | 设备状态 | Refurbished |
MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz RF Generator 是一款优秀的射频电源，输出稳定性能可靠，能够为优良的薄膜加工设备提供可靠的固态电源，是制造现代计算机和电子设备所需的集成电路或芯片的半导体制程中的重要部件。MKS EDGE系列射频电源具有优良的成膜能力，能够快速成膜，从而提高产线效率。EDGE系列射频电源严格的制造环节把控，使得该型射频电源在实际工作过程中能够实现对射频输出的精准控制。
MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz 参数规格
品牌：MKS
设备型号：EDGE 400KHz
AC 电源输入：3 phase~，200~208V，90A，50/60Hz
RF 射频输出：400KHz
通讯接口：Interlock，ETHERNET，RS-232C，CEX，GIGABIT
设备散热：水冷散热
水冷进水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流压力 80PSI
设备重量：47.6kg（105lbs）
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