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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>MKS GEW Series>> MKS(ENI) 3540MKS 高频射频电源 GEW-3540 40.68MHz 3000W
| 供货周期 | 现货 | 货号 | GEW-3540-04 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型号 | GEW-3540 |
| M/N | GEW-3540-04 | P/N | 2L39-000005-23 |
| 频率 | 40.68MHz | 输出功率 | 3000W |
| 设备状态 | Refurblished |
MKS 高频射频电源 GEW-3540 40.68MHz 3000W RF Generator 射频发生器 是一款坚固耐用的射频电源，用于等离子蚀刻，CVD和溅射应用，具体精确的电源控制和数字接口，为当今苛刻的等离子工艺提供了优秀的可靠性。
MKS GEW-3540 射频电源发出40.68MHz的射频，以3000W的功率到50Ω负载。基于DSP的控制模块，自动测量正向射频功率和反射射频功率，在0 - 3000瓦的动态功率范围内，保持恒定的功率输出在设定值的±2%内。低谐波失真和杂散性能补充了该机组的射频功率输出控制和无条件的射频稳定性。
MKS 高频射频电源 GEW-3540 40.68MHz 3000W 技术参数
AC输入：3 phase~，200 ~ 208V，30A，50 ~ 60Hz
RF输出：3000W，40.68Mhz，50Ω
电机扭力：14.2 ~ 16.6 LB-FT. ， 19.3 ~ 22.5 N-m
散热方式：水冷散热
水冷进水需求：7.5L/Min（2Gal/Min）
水冷水温：+5℃ ~ +35℃
水冷水压：60 PSI / 414 kPa（Max.）
通信接口：RS-232 Debug / Analog Interface / Front Panel
设备重量：32 KG（70 lbs）
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