当前位置:江苏神州半导体科技有限公司>>微波电源>>NIHON KOSHUHA>> NIHON KOSHUHAMKN 502-3S2B03-OSC 微波电源 微波振荡部件
供货周期 | 现货 | 货号 | MKN-502-3S2B03-OSC |
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应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | MKN微波电源配套振荡器 |
品牌 | NIHON?KOSHUHA | 型号 | MKN-502-3S2B03-OSC |
设备状态 | Refurblished |
NIHON KOSHUHA MKN 502-3S2B03-OSC 微波电源 微波振荡部件 Microwave Oscillator Section 输出功率从500W ~ 5KW,是具备高稳定性,低波纹的微波电源振荡部件,需配套MKN微波电源使用。主要运用于微波等离子CVD、微波ECR等离子等半导体制造进程中。
NIHON KOSHUHA 微波电源 MKN152-3S9-PS 技术参数
设备品牌:NIHON KOSHUHA
设备型号:MKN-502-3S2B03-OSC
设备输出频率:2450 ± 30MHz
额定输出功率:150W ~ 1500W
设备输出法兰:BRJ-2
功率输出稳定度:电源电压±10%的变动,Max输出的±1%以下
输出波纹:Max 输出值的5%pp以下
AC 电源输入:3phase~ ,200V,50/60Hz,11KVA
散热方式:风冷散热
尺寸大小:370 * 270 * 270 mm
设备重量:25公斤
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