ULVAC 射频网络匹配器 MBX-1310L 1000w 返回列表页

ULVAC 射频网络匹配器 MBX-1310L 1000w RF Matching Box 是一款专为ULVAC RFS Series 射频电源设计并配套使用的匹配器。

ULVAC MBX Series RF Matching Box 射频网络匹配器 特点

1.整体设计紧凑，轻量化

2.ULVAC RFS系列射频电源专用配套匹配器

3.残余反射波功率小于0.3%

4.设备整体设计可靠性高，可以有效降低客户的使用成本

ULVAC 射频网络匹配器 MBX-1310L 1000w 射频匹配网络 规格

射频输入频率：13.56 MHz

额定功率：10 ~ 1000 W

输入连接接口：N型

允许输出电压：≤ 2.5kVpp / ≤ 2.5kVdc

允许输出电流：≤ 30A

负载抗阻：0.5 Ohm ≤ R ≤ 10.0 Ohm（在规定电压和规定电流范围内）

残余发射波功率：输入行波功率的0.3%以下或10W以下，以较大者为准

工作环境温度：10℃ ~ 40℃（无冷凝）

工作环境要求：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，不含腐蚀性气体

散热方式：风冷散热

设备外形尺寸：375mm * 350mm * 120mm（不包括突出部分）

设备重量：8公斤