目录:南京芯测软件技术有限公司>>探针台系统>>GP探针台系列>> GP200SiPH硅光探针台
| 晶圆尺寸 | 200mm | 产地 | 国产 |
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型号:GP200-SiPH
8英寸硅光测试手动探针台
应用：GP200-SIP系列8英寸探针台包含硅光芯片的DC&RF&OO测试所需的完整配置，在短时间内可准确地完成芯片的参数测试与提取。
| XY行程 | 快速定位行程：210mm×210mm； 精调行程： 210mm×210mm ， 精调分辨率：≤ 1.0 μm；驱动方式：手动 |
| Z轴行程 | 10mm；驱动方式：手动 |
| Theta旋转 | 快速旋转角度：360°；精调角度：±15°，精调分辨率：＜0.02°；驱动方式：手动 |
| Chuck台 | 尺寸:203mm(8inch) ；真空盘可调节高度：±5mm 真空快速切换开关，真空调节档位：Center、2’、4’、8’ 安装方式：真空盘与主体绝缘 |
| 台面精度 | 平面度：＜10 μm |
| 快速拉出结构 | 行程：100mm |
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