产品优势

·全封闭式显影，避免雾气扩散到外部，污染环境。

·外壳喷塑，耐腐蚀，易清洗。

·内腔镀特氟龙，光滑，耐腐蚀，易清洗。

·内置真空过滤器，防止液体吸入真空泵。

·真空压力可调，压力值实时显示。

·液体流量可调，回吸可调。

产品参数

支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圆晶）

·转速分辨率：±1 RPM

·旋涂速度：20-3000rpm（空载）

·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec（空载）

·工艺时间设定： 0-3,000sec/step，时间设置精度： 0.1sec

·该机型适用于标准3路显影机（1路洗衣液，1路纯水，1路氮气）

·单步工艺及多步工艺可选，内置100组可编辑程序

·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。

设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能，并且喷嘴位置可程控移动，实现自动显影和清洗作业。