产品特点

全新外观设计，适配实验室实验操作

*进的设计理念，模块化设计

可快速拆卸和替换原有功能模块，操作便捷

支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制

可实现不同功能模块的自由组合定制

配载精密的运动控制系统，提高实验精度及重复性

产品参数

转速范围：20-10000rpm

转速分辨率：±1rpm

加速度可调范围：20-50000rpm/s

单步时长：3000s

时间分辨率：0.1s

适用基片尺寸：4/6/8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘

显影喷嘴距离基片高度可调，可调范围10-50mm

可添加背洗功能（根据客户需求而定）