超快SEM解决方案

Euclid Techlabs LLC 提供独立开发的超快脉冲发生器系统，将传统的 SEM 转换为时间分辨 SEM。 该脉冲发生器可适用于 TFS Verios 5 XHR SEM，从而将频闪时间分辨率引入现有 SEM 系统，而不会降低其原有性能。为了保持原始光束质量，并在脉冲发生器关闭时对正常操作的影响最小（理想情况下没有），我们可能建议将脉冲发生器插入 FE 枪和聚光透镜之间。 脉冲发生器与原始 SEM 腔具有相同的真空接口。 控制单元通过锁相延迟线向脉冲发生器（电和光）提供控制信号，并为样品提供同步的电或光信号。

特点：

• 百皮秒级射频电激发电子束

规格：

• 能量范围：2~30 keV

• 电子束频闪率：15MHz~3GHz（电激发）

• 电子脉冲长度：100ps~period-100ps（电激发）。

• 辐射安全

• 与 SEM 腔真空兼容

• 在电激发下保持 SEM 的原始固有空间分辨率。