二合一超快SEM解决方案

Pico SEM A二合一超快扫描电镜解决方案在FE 枪和聚光透镜之间引入脉冲发生器，该脉冲发生器可通过皮秒级射频电激发电子束并可保持原始扫描电镜的光束质量，并在脉冲发生器关闭时对正常操作的影响最小（理想情况下没有）。同时采用飞秒激光泵浦样品联动，该解决方案结合了脉冲发生器的皮秒时间分辨率和扫描电子显微镜的固有空间分辨率，可进行超高时间和空间分辨的扫描二次电子成像、背散射电子衍射等，实现对样品的超快表征。

特点：

• 皮秒级射频电激发电子束

• 飞秒激光泵浦样品联动

规格：

• 能量范围：8~30 keV

• 电子束频闪率：15MHz~12GHz（电激发）

• 电子脉冲长度：5ps~period-1us（电激发）

• 辐射安全

• 与 SEM 腔真空兼容

• 在电激发下保持 SEM 的原始固有空间分辨率。