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桌面显影机

参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号DM200-SE

品       牌LEBO/雷博

厂商性质生产商

所  在  地无锡市

更新时间:2025-03-10 14:42:36浏览次数:4089次

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产地类别 国产 应用领域 化工,生物产业,能源,电气,综合
产品优势
1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
5.真空压力可调,压力值实时显示。
6.液体流量可调,回吸可调。
  桌面显影机优势
 
  1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
 
  2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
 
  3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
 
  4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
 
  5.真空压力可调,压力值实时显示。
 
  6.液体流量可调,回吸可调。
 
  桌面显影机参数
 
  支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)
 
  1.转速分辨率:±1 RPM
 
  2.旋涂速度:20-3000rpm(空载)
 
  3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)
 
  4.工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec
 
  5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)
 
  6.单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序
 
  7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
 
  设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。
 

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